Citation link:
Authors:
Ръсовска, Милка Маркова; Хлебаров, Здравко Петков; Радева, Мила Радославова; Hlebarov, Zdravko Petkov; Radeva, Mila Radoslavova; Rasovska, Milka Markova
Title:
Чувствителен към влага микроелектронен сензор
Other Titles:
RH sensitive microelectronic sensor
Date of Issue:
1995
Is Part of:
Годишник на ТУ-София, 48(4). Електроника, комуникации, информатика, автоматика : Юбилейна научна сесия „50 години ТУ–София“ 11-12.10.1995 София, с. 45-50.
Publisher:
ТУ-София
Identifiers:
0374-342X [issn]
Type:
Article
Language:
bul
Subject:
преобразуватели на величини – изпитване
Abstract:
There are presented the construction and technical futures of a microelectronic humidity sensor, based on the multyplayered structure Al-(Zn-Cu) O-(In-Sn) O-AL The layers was qualified by X-ray analysis and so the technology was adjusted Some of the parameters of the samples was studied — the DC resistance Rdc and the AC resistance Rac was measured and, it was observed their sensitivity to the humidity of the surrounded media. More detailed information about the behavior of this RH sensitivity structure will be published in the near future.
Description:
Ръсовска, Милка Маркова и др. Чувствителен към влага микроелектронен сензор / Милка Ръсовска, Здравко Хлебаров, Мила Радева. (Електроника). // Годишник на ТУ-София, Том 48, 1995, № 4. Електроника, комуникации, информатика, автоматика : Юбилейна научна сесия „50 години ТУ–София“ 11-12.10.1995 София, с. 45-50 : с черт., диагр. - Рез. на бълг. и англ. ез.; С библиогр.
